深亞微米

一、成果簡(jiǎn)介 表面等離激元，是光與金屬中自由電子相互作用形成的一種新型元激發(fā)，因其對(duì)光場(chǎng)具有亞波長(zhǎng)尺度的約束能力和突破衍射極限的傳輸特性,在微納光子器件和光子集成、超分辨成像等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。一般的等離激元器件如激光器、諧振腔等，其特征尺寸可以小到亞微米、深亞微米，而等離激元波導(dǎo)甚至可以小到納米量級(jí)。然而由于等離激元激發(fā)有電子振蕩參與，因而由焦耳熱引起的損耗成了等離激元器件走向應(yīng)用的瓶頸。對(duì)于微納光子器件及集成芯片來(lái)說(shuō)，尋找光頻段低損耗的金屬材料成了該領(lǐng)域研究人員多年來(lái)努力的目標(biāo)。 此前…